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Optical Engineering Reports


网络释义
版之光学工程报导
...术 - docin.com豆丁网 o-Optical Instrumentation Engineers, SPIE)民86年2月出 版之光学工程报导(Optical Engineering Reports, OE Reports)指出,半导体商 业化量产之微影解像度将停留在0.15 ~ 0.13微米相当长之时间。
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