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Multiple e-beam


网络释义
多重电子束
深紫外光技术并非不可采用,而是目前电源障碍仍未跨越,成本仍然过高,多重电子束(Multiple E-beam)则也还赶不及正式推出22奈米制程解决方案,所以进入22奈米制程,几乎已经确定浸润式微显影采用双重曝光是最可行的解决之道。
常用短语
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