在线词典
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Multiple e-beam
网络释义
多重电子束
深紫外光技术并非不可采用，而是目前电源障碍仍未跨越，成本仍然过高，多重电子束(Multiple E-beam)则也还赶不及正式推出22奈米制程解决方案，所以进入22奈米制程，几乎已经确定浸润式微显影采用双重曝光是最可行的解决之道。
常用短语
- multiple e beam interferometry多重光束干涉量度法
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查看英英释义
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常用短语
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