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Million Metric Tons of Equivalent
网络释义
万公吨碳当量
评估半导体制程中CVD反应腔清洗的PFC排放对环境影响的量度是以百万公吨碳当量(Million Metric Tons of Equivalent, MMTCE)来表示： 其中GWP100是气体对全球暖化潜势，用以评估PFC分子对气候改变及影响，是以100年整...
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