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Microelectronic Mechanicals System
网络释义
微电子机械系统
...机械科学与技术》 2005年第24卷第5期 摘 要: 介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统(Microelectronic Mechanicals System，MEMS)材料机械性能的单轴拉伸试验系统。
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