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Micro Electro Mechanical System

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微机电系统:指一种将微型机械结构与电子技术相结合的系统,用于实现微小尺寸、低功耗、高性能的机械和电子功能。

网络释义
微机电系统
微机电系统的含义 微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)即微电子机械系统或微机电一体 化系统,它是指可批S制作的,集微型传感器、微执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、 通...
微电子机械系统
1.1.1 MEMS的概念和基本特征一、MEMS的概念 MEMS是微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System)的英文缩写,是指采用微机械加工技术可以批量制作的,集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等...
微型机电系统
...号处理装置、接口、通信等为一体,几何尺寸小于mm3的微型机电一体化产品,也称微型机电系统(micro electro mechanical system,MEMS),通常用纳米、微米或毫米级单位进行度量,具有体积小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等特点。
技术
...在轨动态热特性分析 针对纳卫星热流密度不断升高的发展趋势,介绍了一种基于微机电技术(MEMS,Micro Electro Mechanical Systems)的泵驱动单相流微槽道冷却系统.
常用短语
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