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Micro Electro- Mechanical System
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https://www.dute.org/dict/micro_electro_mechanical_system复制链接 微机电系统：指一种将微型机械结构与电子技术相结合的系统，用于实现微小尺寸、低功耗、高性能的机械和电子功能。
网络释义
机电技术
...in.com豆丁网 n graphite)、光阻材料开发(Photoresist material)、3D 封装 技术、微机电技术(Micro Electro- Mechanical System, MEMS)等。
微机电技术
...in.com豆丁网 n graphite)、光阻材料开发(Photoresist material)、3D 封装 技术、微机电技术(Micro Electro- Mechanical System, MEMS)等。
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