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Micro Electro-Mechanical System
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https://www.dute.org/dict/micro_electro_mechanical_system复制链接 微机电系统：指一种将微型机械结构与电子技术相结合的系统，用于实现微小尺寸、低功耗、高性能的机械和电子功能。
网络释义
系统技术
3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
电系统
出现了各种新技术的光可变衰减器，包括MEMS（微型机电系统，Micro Electro-Mechanical System）技术、液晶技术、波导技术和聚合物材料光栅等。
微型机电系统
出现了各种新技术的光可变衰减器，包括MEMS（微型机电系统，Micro Electro-Mechanical System）技术、液晶技术、波导技术和聚合物材料光栅等。
微机电系统技术
3 二、微机电系统产业概况 微机电系统技术（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）是一种结合光、 机、电、材、控制、物理、生医、化学等多重技术领域之整合型与微小化系统制 造技术。
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