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Metal Catalyzed Chemical Etching
网络释义
及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法
...技术为干法制绒的离子反应法（Reactive Ion Etching，RIE）及湿法制绒的金属催化化学腐蚀法（Metal Catalyzed Chemical Etching，MCCE），干法黑硅设备以常州比太科技为主，湿法黑硅设备以阿特斯和尚德以自我改造为主。
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