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Lithography Process Check


网络释义
检查
...自不同公司DFM工具取得的资料格式,试著与台积电工艺的资料格式相符;这些DFM工具包括光刻工艺检查(Lithography Process Check)、化学机械研磨分析( ..
影制程检查
台积电还提供一种微影制程检查(lithography process check,LPC)工具,这是一种采用模拟 的环境,能进行有可能引起良品率问题的图形设计分析。
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