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Laser direct writing
查词链接:
https://www.dute.org/dict/laser_direct_writing
复制链接 激光直接写入:一种利用激光束在材料表面制作微米或纳米尺度图案的技术。
网络释义
激光直写技术
...术主要包括:光刻技术 (photolithography)、电子束成像(electron-beam lithography)、激光直写技术(laser direct writing)等;而波导三维化加工技术主要是刻蚀技术,如湿法刻蚀(化学腐蚀)、 反应离子刻蚀(RIE)和离子束刻蚀等。
技术
利用雷射直接写入技术 (Laser Direct Writing)可简化制程步骤、降低设备成本、提 高制程效率同时减少酸碱溶液的使用,将可有效降低薄膜电晶体 (TFT) 的制作成本。
常用短语
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