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Ionic Beam Sputter Deposition
网络释义
离子束溅射沉积
离子束溅射沉积(Ionic Beam Sputter Deposition, IBSD)是指在真空之下，以高 能粒子撞击靶材，使其以原子、分子、原子团、分子团及离子之型态沉积于基材 表面，...
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