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High aspect ratio trenches


网络释义
高深宽比的沟开挖
3D NAND 制造关键工艺 3D NAND的制造工艺十分复杂,以下把关键部分列出: High aspect ratio trenches(高深宽比的沟开挖) No doping on source or drain(在源与漏中不掺杂) Perfectly parallel walls(完全平行的侧壁) Tens of stairsteps(众多级的...
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