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Deep X-Ray Lithography
网络释义
刻术
LIGA 与类LIGA 的制程介绍（1）光刻微影（Lithography）：同步辐 射X 光光刻术（Deep X-Ray Lithography）*、紫外光光刻微影术（Deep UV Lithography）、雷射（Excimer Laser Machine）、电浆（Deep RIE/ICP）；（2） 电子沉积（Electro...
常用短语
- moving mask deep X-ray lithography移动X射线光罩微影术
- X-ray deep lithographyX光深层光刻
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