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DC reactive magnetron sputtering

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直流反应磁控溅射

网络释义
直流反应磁控溅射
...直流反应磁控溅射;溅射功率;减反射薄膜;光学特性[gap=1035]Key words: titanium dioxide; DC reactive magnetron sputtering; sputtering power; antireflection; optical property..
直流磁控溅射
... 常压化学气相沉积(APCVD) 直流磁控溅射(DC reactive magnetron sputtering) 微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR-CVD) ...
常用短语
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