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DC magnetron reactive sputtering
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https://www.dute.org/dict/dc_magnetron_reactive_sputtering复制链接 直流磁控反应溅射
网络释义
直流磁控反应溅射
关键词 : AlN 薄膜 ; 直流磁控反应溅射 ; 择优取向 ; 半高宽 [gap=7499]Key words : AlN thin film ; DC magnetron reactive sputtering ; preferential orientation ; FWHM
常用短语
- DC magnetron reactive sputtering process直流反应磁控溅射
- dc magnetron reactive sputtering technique直流磁控反应溅射法
- DC reactive magnetron sputtering直流反应磁控溅射；直流磁控溅射
- dc reactive magnetron sputtering method直流磁控溅射法
- dc reactive magnetron sputtering technique直流反应磁控溅射法
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