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输入要查询的单词：
Comb Drive Actuator
网络释义
梳状驱动器
目前 MEMS 中常用的静电型微驱动器主要有：梳状驱动器（Comb Drive Actuator）、刮板式驱动器（Scratch Drive Actuator, SDA）以及静电型微马达等。
常用短语
- mems comb-drive actuatormems静电梳齿驱动器
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