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Chemical Mechanical Polishing

查词链接:https://www.dute.org/dict/chemical_mechanical_polishing复制链接
化学机械抛光:一种半导体制造过程中用于平整化表面的技术,通过化学和机械作用去除材料表面的微小凸起。

网络释义
化学机械抛光
...:在电子制造行业,随着产品性能的不断提高,对表面质量的要求越来越高。抛光是表面平整化加工的重要手段。与现有的抛光技术相比,化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,简称CMP)是目前广泛采用的并且是几乎唯一的全局平面化技术。
化学机械研磨
目前,化学机械研磨(Chemical Mechanical Polishing, CMP)是达成全局平坦化的最佳方法,尤其是在半导体制作工艺进入亚微米领域后,化学机械研磨已成为一项不可或缺的制作工艺技术。
技术
化学机械抛光技术(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是目前最好的、也是唯一全局平面化技术,是超大规模集成电路成功的最为关键的技术。
研磨
2 中文摘要 化学 机械 研磨 ( Chemical Mechanical Polishing ) 是目 化学 研磨 search engine, 化学 研磨 Search, Free 化学 研磨 Ebook, PDF, TXT, DOC, TXT, PPT downloads..
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