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Chemical Mechanical Planarization


网络释义
化学机械抛光
CMP(展板形式) 化学机械抛光(Chemical Mechanical Planarization,CMP)是集成电路生产线中的核心工艺之一,技术难度仅次于光刻技术。
化学机械研磨
...K为基础的应用,展示重点如下; 以VICTREX PEEK为基础的化学机械研磨环应用化学机械研磨(Chemical Mechanical Planarization,CMP)是半导体晶圆制造过程中的关键步骤,VICTREX PEEK拥有高纯度、耐磨耗性与耐化学性,符合并满足...
又称化学机械平坦化
化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,简称CMP),又称化学机械平坦化(Chemical mechanical planarization),是提供超大规模集成电路(ULSI)制造过程中表面平坦化的一种新技术,于1965年首次由美国的Monsanto提出,最初是用于获取高质量的...
常用短语
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