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Atomic Layer Deposition System

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原子层沉积系统

网络释义
原子层沉积系统
12 吋原子层沉积系统(Atomic Layer Deposition System, ALD) 为解决我国半导体学术研究在元件制 程上之瓶颈与降低对于进口设备过度依 赖,仪科中心以其真空技术与国...
沉积系统
12 吋原子层沉积系统(Atomic Layer Deposition System, ALD) 为解决我国半导体学术研究在元件制 程上之瓶颈与降低对于进口设备过度依 赖,仪科中心以其真空技术与国...
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