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ALD-atomic layer deposition
网络释义
原子层沉积技术
近十几年来出现的原子层沉积技术（ALD-atomic layer deposition）在纳米科技领域具有独特而巨大的应用前景。本报告介绍报告人在美国近十年在ALD方面科研、应用、工艺、沉积设备的最近研发成果。
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